Multichamber and in-situ processing of electronic materials - 10-11 October 1989, Santa Clara, California
- Författare
- (Robert S. Freund, chair/editor.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 1990 | USA | 196 sidor. |